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主要特點(diǎn)：

設(shè)備特點(diǎn)：

1、線形光斑的激光整形技術(shù)，實(shí)現(xiàn)在不同尺寸加工樣品上的剝離操作 

2、氣浮式的工作臺(tái)實(shí)現(xiàn)無接觸無摩擦的加工形式，避免產(chǎn)生粉塵顆粒，保證裝備內(nèi)部的潔凈度

3、高精度、大尺寸、雙工位的stage設(shè)計(jì)，可有效提高生產(chǎn)效率 

4、panel載臺(tái)吸附設(shè)計(jì)。激光設(shè)備的物料載臺(tái)的真空吸附部分，采用了分區(qū)域加時(shí)間延遲的設(shè)計(jì)，先吸附中間部分，再逐次往外圍吸附，保證帶柔性膜的panel可以無皺褶高效吸附 

主要參數(shù):

加工效果：