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主要特點：

設備特點：

1、針對SiC材料特性開發出的光源系統，實現高精度的內部改質切割

2、切割速度快，良好的崩邊控制能力

3、作業無耗材，加工無材料損失

4、全自動作業，兼容4、6英寸晶圓

5、提供系統解決方案，配套裂片、擴片設備

6、SEMI標準，支持SECS-GEM通信

主要參數:

加工效果：